廢氣脫硝是NOx控制措施中重要的方法之一。廢氣脫硝技術可分為干法和濕法兩類，與NO的氧化、還原和吸附的特性有關。干法有氣相還原法、分子篩或活性炭吸附法等，濕法有采用各種液體(水、酸、堿液等)的氧化吸收法。

液體吸收法是用水或其他溶液吸收NOx的方法較多，在硝酸廠和金屬表面處理行業中應用廣泛。濕法工藝及設備簡單、投zi少，能夠以硝酸鹽等形式回收NOx中的氮，但由于NO極難溶于水或堿溶液，吸收效率一般不很高。可以采用氧化、還原或絡合吸收的辦法以提高NO的凈化效果。

(1)水吸收法。水吸收NOx時，水與NO2反應生成硝酸(HNO3)和亞硝酸(HNO2)。生成的HNO2很不穩定，快速分解后會放出部分NO。常壓時NO在水中的溶解度非常低，0℃時為7.34mL/100g水，沸騰時完全逸出，它也不與水發生反應。因此常壓下該法效率很低，不適用于NO占總NOx 95%的燃燒廢氣脫硝。提高壓力(約0.1MPa)可以增加對NOx的吸收率，通常作為硝酸工廠多級廢氣脫硝的后一道工序。

(2)堿液吸收法。該法的實質是酸堿中和反應。在吸收過程中，首先，NO2溶于水生成硝酸HNO3和亞硝酸HNO2，氣相中的NO和NO2生成N2O3，N2O3也將溶于水而生成HNO2。然后HNO3和HNO2與堿(NaOH、Na2CO3等)發生中和反應生成硝酸鈉NaNO3和亞硝酸鈉NaNO2。對于不可逆的酸堿中和反應，可不考慮化學平衡，堿液吸收效率取決于吸收速度。

堿液吸收法廣泛用于我國的NOx廢氣治理，其工藝流程和設備較簡單，還能將NOx回收為有用的亞硝酸鹽磷硝酸鹽產品，但一般情況下吸收效率不高。考慮到價格、來源、不易堵塞和吸收效率等原因，堿吸收液主要采用NaOH和Na2CO3，尤以Na2CO3使用更多。但Na2CO3效果較差，因為Na2CO3吸收NOx的活性不如NaOH，而且吸收時產生的CO2將影響NO2、特別是N2O2的溶解。上述即為常見的廢氣脫硝技術工藝。