一、優等品

1：硅片表面光滑潔凈。

2：TV：220±20μm。

3：幾何尺寸： 邊長125±0.5mm；對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm； 邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm； 邊長150±0.5mm 、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。 同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1mm。 垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.3。

二、合格品

一級品：

1：表面有少許污漬、輕微線痕。

2：220±20μm ≤TV≤220±30μm。

3：幾何尺寸： 邊長125±0.5mm；對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm； 邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm； 邊長150±0.5mm 、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。 同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1.2mm。 垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.5。

二級品：

1：表面有少許污漬、線痕、凹痕，輕微崩邊。

2： 220±30μm ≤TV≤220±40μm。

3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30μm。

4：崩邊范圍：崩邊口不是三角形狀，崩邊口長度≤1mm，深度≤0.5mm

5：幾何尺寸： 邊長125±0.52mm；對角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm； 邊長103±0.52mm、對角135±0.52mm； 邊長150±0.52mm 、156±0.52mm、對角203±0.52mm、200±0.52mm。 同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1.5mm。 垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.8。

三級品：

1：表面有油污但硅片顏色不發黑，有線痕和硅落現象。

2：220±40μm ≤TV≤220±60μm。

3：硅落：整張硅片邊緣硅晶脫落或部分硅晶脫落。

三、不合格品

嚴重線痕、厚薄片：TV＞220±60μm。

崩邊片：有缺損但可以改Φ103的硅片。

氣孔片：硅片中間有穿孔 。

外形片：切方滾圓未能磨出的硅片。

倒角片（同心度）：任意兩個弧的弦長之差>1.5mm。

菱形片（垂直度）：任意兩邊的夾角>90°±0.8。

凹痕片：硅片兩面凹痕之和＞30μm。

臟 片：硅片表面有嚴重污漬且發黃發黑。

尺寸偏差片：幾何尺寸超過二級品的范圍。