1.生產設備之選擇、布置與保養：

a.要選用發塵性較少的生產設備及相關設備，尤其須注意活動部分之發塵。

b.應選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。

c.生產用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應配備過濾裝置。

d.規劃各設備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結構，規劃各并以容易清潔為原則。

e.真空泵等容易產生污染物的這類設備，應設置在無塵室外面或回風區，并加裝排氣管線排氣。

f.設置給水管線、氣體管線和電氣系統時，其構造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。

g.生產及相關設備應定期清掃，以避免微塵之堆積。

h.應加強注意室內的溫濕度控制，避免因濕度之不當造成結露生銹。

i.當設備維修時易產生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進行，并加隔離柵隔離。

j.對于施工或維修之廠商，應告知進出無塵室之各項規定，且負責工程師應隨侍在側監工。

k.應有無塵室專用工具組，但不得帶出無塵室外使用。

l.規劃空間時若能臨近無塵室設立一間維修和設備保養手冊置放室，將是一理想之規劃。

無塵室內生產制造設備應注意的重點

2.生產設備之防塵措施：

a.磨損、切削均為發生微塵之原因，故需將發塵部分掩蓋之。

b.易產生塵埃之設備，若能的話應布置于風尾地點。

c.在操作時，盡量減少接觸零件或產品。

d.不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。

e.各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品于進入生產設備前應有過濾設備。

f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應有旁路閥之設置。

3.自動化與無塵化：

a.設立自動化傳送系統，可減少人員方面所帶來的污染，唯費用相當昂貴，須詳加評估。

b.建立管制項目如進入無塵室人員的資格限定，無塵室作業人員作業規則，無塵室管理規則等。