在真空環(huán)境中，蒸發(fā)材料在蒸發(fā)源的作用下，以原子或分子狀態(tài)向任意方向直線運(yùn)動(dòng)，當(dāng)遇到溫度較低的表面時(shí)，便被吸附，由于粒子的不斷增加，逐漸形成了膜層。從開始蒸發(fā)到基片表面成膜，可分為四個(gè)階段。

(1)成核一小島階段當(dāng)入射的蒸發(fā)材料粒子被基片吸附，在基片上形成膜層的初始階段是出現(xiàn)大量的晶核，核的直徑約2nm，核間距離為30nm左右。被吸附的原子越來(lái)越多，形成了不同形狀的小島。瞬間內(nèi)原子相互結(jié)合的過(guò)程如下：兩個(gè)各自獨(dú)立存在的原子一吸附的原子越來(lái)越多一接觸處逐漸變大一原子連成小島。

(2)聚結(jié)階段由于蒸發(fā)材料蒸氣不斷地產(chǎn)生，使原來(lái)的小島各自為中心進(jìn)行擴(kuò)大連接而形成大島。先吸附在基片表面的原子已凝結(jié)成小島，而后到的蒸氣原子，不斷填充在島與島之間的空隙而聚結(jié)成大島。

(3)中間過(guò)程大島與大島的邊沿不規(guī)則地相連，形成網(wǎng)狀薄膜、溝道、通路、孔眼階段。蒸發(fā)材料的蒸氣的數(shù)量逐漸增多，大島與大島之間形成蜂窩狀結(jié)構(gòu)，空隙之間開始連通，但連通處尚不夠致密。

(4)成膜階段在溝道階段的基礎(chǔ)上，隨著蒸發(fā)材料蒸氣原子不斷地吸附，在溝道周圍不斷地填充，逐漸形成膜層，此薄膜在微觀上其厚度并不是均勻一致的，而是凹凸不平的。