ITO靶材的回收流程通常包括以下幾個(gè)步驟：
1. 收集與分類：將廢舊ITO靶材進(jìn)行收集，并根據(jù)其種類、純度等進(jìn)行分類。
2. 破碎與研磨：將分類后的靶材進(jìn)行破碎和研磨，使其變成粉末狀，便于后續(xù)處理。
3. 化學(xué)分離：采用化學(xué)方法將粉末中的銦、錫等元素進(jìn)行有效分離。
4. 提純與精煉：對(duì)分離出的銦、錫等元素進(jìn)行提純和精煉，得到高純度的金屬產(chǎn)品。
5. 再加工：將提純后的金屬產(chǎn)品加工成新的靶材或其他產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)資源的循環(huán)利用。
在實(shí)際生產(chǎn)中，采用蒸餾法分離銦、錫時(shí)，可考慮采用微負(fù)壓系統(tǒng)進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的升級(jí)改進(jìn)。通過(guò)改善工藝條件和調(diào)整技術(shù)參數(shù)等，以充分的降低能耗，并獲得更好的銦、錫分離效果，這也是今后產(chǎn)業(yè)化試驗(yàn)研究的主要方向。
氧化銦是一種寬禁帶半導(dǎo)體，具有良好的光學(xué)透明性，而氧化錫的引入則增強(qiáng)了材料的導(dǎo)電性。這種成分結(jié)構(gòu)使得ITO材料在保證高透光率的同時(shí)也具有低電阻率，兼具光學(xué)和電學(xué)性能。ITO靶材的這一獨(dú)特特性使其成為透明導(dǎo)電膜的主流材料，尤其適用于要求高透明度的光電設(shè)備和顯示技術(shù)。
透明導(dǎo)電薄膜在現(xiàn)代光電行業(yè)中具有至關(guān)重要的地位，是觸摸屏、顯示器和太陽(yáng)能電池等設(shè)備中的核心組件。ITO靶材憑借其出色的透明導(dǎo)電特性成為制備透明導(dǎo)電薄膜的材料。
