ITO靶材的回收流程通常包括以下幾個步驟：
1. 收集與分類：將廢舊ITO靶材進行收集，并根據其種類、純度等進行分類。
2. 破碎與研磨：將分類后的靶材進行破碎和研磨，使其變成粉末狀，便于后續處理。
3. 化學分離：采用化學方法將粉末中的銦、錫等元素進行有效分離。
4. 提純與精煉：對分離出的銦、錫等元素進行提純和精煉，得到高純度的金屬產品。
5. 再加工：將提純后的金屬產品加工成新的靶材或其他產品，實現資源的循環利用。
銦靶材回收是資源循環的關鍵：全球銦儲量有限，ITO靶材回收可節約稀有金屬、減少污染。專業企業通過破碎、化學分離等流程提取高純度銦，價格隨市場波動。環保的回收技術正推動行業可持續發展。
值得注意的是，蘇州的回收企業特別注重技術創新。部分已研發出等離子體熔煉等新型處理工藝，使能耗降低30%的同時，進一步提升了金屬回收率。這些技術突破不僅鞏固了蘇州在全國ITO回收領域的地位，更為"雙碳"目標的實現貢獻了產業力量。
在實際生產中，采用蒸餾法分離銦、錫時，可考慮采用微負壓系統進行產業化生產的升級改進。通過改善工藝條件和調整技術參數等，以充分的降低能耗，并獲得更好的銦、錫分離效果，這也是今后產業化試驗研究的主要方向。
