ITO靶材的回收流程通常包括以下幾個步驟：
1. 收集與分類：將廢舊ITO靶材進行收集，并根據其種類、純度等進行分類。
2. 破碎與研磨：將分類后的靶材進行破碎和研磨，使其變成粉末狀，便于后續處理。
3. 化學分離：采用化學方法將粉末中的銦、錫等元素進行有效分離。
4. 提純與精煉：對分離出的銦、錫等元素進行提純和精煉，得到高純度的金屬產品。
5. 再加工：將提純后的金屬產品加工成新的靶材或其他產品，實現資源的循環利用。
除了ITO靶材外，銦還廣泛應用于其他領域，如半導體材料、太陽能電池、LED等。因此，回收銦不于ITO靶材的回收，還包括其他含銦廢料的回收。
ITO靶材的回收再利用具有重要的意義和價值。通過科學的回收技術和流程，不僅可以實現資源的循環利用，還能減少環境污染，推動可持續發展。同時，回收銦也需要關注性、環保性和合規性等方面的問題。
在實際生產中，采用蒸餾法分離銦、錫時，可考慮采用微負壓系統進行產業化生產的升級改進。通過改善工藝條件和調整技術參數等，以充分的降低能耗，并獲得更好的銦、錫分離效果，這也是今后產業化試驗研究的主要方向。
