1、應(yīng)用領(lǐng)域機(jī)設(shè)備

2-1適用設(shè)備：適用于北方華創(chuàng)、中科科儀、沈陽科儀、中電科、微電子所、南光機(jī)器廠、金盛微納、泰科諾、Kurt J.Lesker 愛發(fā)科、丹頓真空等各種單靶濺射系統(tǒng)，多靶濺射系統(tǒng)，離子濺射系統(tǒng)等磁控濺射設(shè)備。

2-2應(yīng)用領(lǐng)域：生產(chǎn)及科學(xué)實驗研究方面應(yīng)用，光學(xué)，微納加工，器件等行業(yè)產(chǎn)品，廣泛用于半導(dǎo)體芯片、太陽能光伏 、平面顯示、特種涂層等鍍膜產(chǎn)品。

2、靶材規(guī)格

3-1 材質(zhì)：氮化鈦（NTiTarget）。

3-2 純度：99.9%，99.99%，99.999%

3-3 粒度：5微米。

3-4 尺寸：Φ25,30,40,50.5,60,76.2,80,100,101.6mm，T:0.2-10mm等。

3-5 密度：5.43g/cm3

3-6 表面粗糙度：Ra≤0.8um（濺射面），Ra≤6.4um（做金屬化）。

3-7 外觀：目視檢查無破損、劃傷、污跡、裂紋等在使用上有害的缺陷。

4、金屬化（BSM）

4-1 種類：金屬化材料為純銦或銀（鍍膜）。

4-2 粘接度：表面均勻，無氣孔，粘接牢固。

4-3 檢測：用3M膠帶測試。

5、包裝及運輸

5-1 無油、指紋等的污跡。

5-2 包裝材料要保證包裝內(nèi)的貨品不污染、破損。

5-3 包裝材料采用靶材專用真空包裝袋，靶材包裝盒。

5-4 運輸時，靶材放于專用木箱或紙箱里，包裝內(nèi)側(cè)用珍珠棉嚴(yán)格保護(hù)起來。

5-5 運輸要注意避免破損或污染。

6、標(biāo)識

6-1 靶材的品名、純度、規(guī)格、批號、制造日期貼在包裝袋外側(cè)。

8、儲存

8-1需儲存于手套箱，氮氣柜，干燥環(huán)境，密封包裝，輕拿輕放，防壓防撞。