真空探針臺主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。

該探針臺的承載臺為φ60不銹鋼臺面，臺面可升溫到400℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環境下精密移位調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－20mm；z方向調節范圍：0－20mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測

真空腔體

型號

KT-Z1604T-RL高低溫型 KT-1604TZ高溫型

加熱臺溫度

高溫型 ：400℃ 高低溫型：-190~400℃

腔體材質

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側開

加熱臺材質

304不銹鋼

內腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺間距

75mm

加熱臺溫控誤差

±0.5℃

真空度

機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號接頭

SMA轉BNC X 4

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ介質耐壓 ≤500V 電流噪聲 ≤10pA/100fA

探針數量

4探針

探針材質

鎢針

探針尖

10μm

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動行程

13mm±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動行程

13mm±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡+目鏡

物鏡倍數

0.7-4.5倍

工作間距

90mm

相機

sony高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調光源

有

顯示屏

13寸

放大倍數

19-256倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm