凈室，又稱無塵室、潔凈室或清凈室，是指一個具有低污染水平的環境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發性氣體。更準確地講，一個凈室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數，或者用顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經過的（如沒有受控的微生物），更在意的是凈室中的灰塵。
空調系統24小時全天運轉并監控管理半導體工廠部分制程設備，對溫濕度變化極為敏感，如黃光區Stepper光學機臺，些微的溫、濕度變化均會使設備的準度偏差，另外芯片等產品也必須置放在定溫定濕的環境下，故空調系統必須24小時監控管理之。
半導體廠凈室室內壓力大小半導體廠凈室室內壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產區的環境條件外，并可延長凈室ULPAfilter的壽命，但不能無條件增加，如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運轉成本。
氣流分布須均勻凈室空調為帶走凈室內所產生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達到一定之要求標準外，氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當的控制。
單層廠房在滿足一定建筑模數要求的基礎上視工藝需要確定其建筑寬度（跨度）、長度和高度。廠房的跨度B：一般為6、9、12、15、18、21、24、27、30、36m……。廠房的長度L：少則幾十米，多則數百米。廠房的高度H：低的一般5～6m，高的可達30～40m，甚至更高。廠房的跨度和高度是廠房照明設計中考慮的主要因素。
另外，根據工業生產連續性及工段間產品運輸的需要，多數工業廠房內設有吊車，其起重量輕的可為3～5t，大的可達數百噸（機械行業單臺吊車起重量可達800t）。因此，工廠照明通常采用裝在屋架上的燈具來實現。
