1Cr18Ni9Ti優質不銹鋼材質，氬弧焊接，上開蓋和前開門結構

機械泵+分子泵（國產或進口可選）， 極限真空優于8*10-5Pa（設備空載抽真空24h），大氣~8*10-4Pa≦30min；采用電阻電離一體化真空規管讀取真空度；閥門采用電磁驅動擋板閥和手動限流閥

蒸發源采用3組水冷銅電極，蒸發電源采用2KW逆變式電源，配源間防污隔板可拆卸式，尺寸60*60mm，旋轉：0-20r/min可調，可加熱至300℃，可選水冷或是帶角度調節功能的基片臺可選配進口或國產膜厚監控儀在線監測和控制蒸發速率、膜厚PLC+觸摸屏智能控制系統，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實現一鍵抽停真空L60cm×W60cm×H96cm 機電一體化機架，預留1個CF35法蘭接口