靜電事故的產生主要在于靜電的產生和積累，而氣流的流動，氣流和管道、風口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產生靜電，在一般情況下，越是電導率小的非導體（絕緣體），由于電荷產生后不易流動，因此表現為越容易帶電。

靜電問題所以在潔凈室中特別嚴重，是因為不但在潔凈室中具備前述產生靜電的多種工藝因素，而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都極易產生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。

潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。

潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

光學微電子凈化工程-潔凈車間技術解決方案

光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、等之污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給于特別設計之密閉空間。

光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫藥、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來，由于技術之創新發展，對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目，而我公司的設計理念及施工技術在行業中則處于地位。