大部分潔凈室、空氣凈化工程、凈化廠房比如電子凈化車間都有嚴格的恒溫、恒濕的要求，不僅對廠房內的溫、濕度有嚴格的要求，而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴格的要求。因此，在凈化空調系統的空氣處理上要采取相應的措施。

從確保如凈化車間內相對濕度的精度而言，上述的淋水、高壓噴霧、濕膜等水加濕方法其控制的精度不高，故當潔凈室內相對濕度精度要求≤±10%時不采用。而采用噴干蒸汽和電熱(電極)式加濕的方法，噴干蒸汽的加濕方法要注意干蒸汽加濕器有一個噴蒸汽效率的問題，并非噴入空調箱內的蒸汽全部加入到空調送風中，而其中有一部分變成凝結水排放出來。因此，凈化車間選擇干蒸汽加濕的加濕量時應考慮其噴蒸的效率。

對于以微生物為控制對象的生物凈化車間其重點要控制微生物的產生和傳播，因為潮濕和水分是微生物滋生和繁殖的條件，因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中，這類凈化工程只能采用干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕。

其他影響因素：

除了空間和環境要求之外，設計或建造者經常忽略影響恒溫恒濕潔凈車間合規性的一些因素，導致溫度和濕度過高或者潔凈度達不到要求。例如，外部氣候因素考慮并不，不考慮設備耗盡量，不考慮設備產生的熱量，導致恒溫恒濕潔凈車間無法達到恒溫標準，設備產生的粉塵量影響恒溫恒濕潔凈車間的潔凈度標準，以及設備產生的水分量不考慮同時有工作人員的數量導致恒溫恒濕潔凈車間的恒濕標準受到人員散發水分的嚴重影響。