世界各國均有自定規格，但普遍依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無塵室塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。

萬級凈化車間檢測標準：

氣流速度及其均勻度檢測，是無塵室效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區的平均氣流通度及其均勻性。

1）室內潔凈度的檢測：潔凈度的檢測是為了確定潔凈環境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數器檢測。

2）自凈時間的檢測：通過確定自凈時間，查明潔凈室內部發生污染時恢復其原有潔凈度的能力。

3）照度的檢測：照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。 4）振動的檢測：振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。

5）溫、濕度的檢測：溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測無塵室的送風溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度，檢測無塵室中心點的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內空氣相對溫度，檢測回風溫度。

對于以微生物為控制對象的生物凈化車間其重點要控制微生物的產生和傳播，因為潮濕和水分是微生物滋生和繁殖的條件，因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中，這類凈化工程只能采用干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕。

恒溫恒濕潔凈車間的適用范圍

眾所周知，大量的高科技產業的興起與恒溫恒濕潔凈車間密不可分，如CCL電路基板覆銅板，PCB印刷電路板，電源和3C鋰電池，光電LCD面板和LED，以及一些制藥和食品工業這些方面都離不開恒溫恒濕潔凈車間。隨著科學技術的發展，制造業所需的配套產品質量標準不斷提高。工欲善其事必先利其器，工業制造商不僅需要從生產過程中針對產品不斷創新發展，還需要改善產品的生產環境，嚴格要求恒溫恒濕潔凈車間環境，提高產品質量和穩定性。

無論是由于產品質量的提高而改造現有工廠，還是因市場需求而擴大工廠，工業制造商都將面臨與項目未來相關的重大問題。從基礎設施到配套裝修，從工藝到設備采購一系列復雜而復雜的恒溫恒濕潔凈車間項目在這個過程中成本有很大的控制空間，因此恒溫恒濕潔凈車間建造者一定會關心項目的質量和總體成本。以下是影響工業廠房潔凈室成本的一些主要因素。