l 差壓原理,具有防爆認證
l 量程范圍:從0-0.5SCCM到0-4000SLPM
l 壓力范圍:1MPa
l 響應時間:流量計10ms/控制器100ms
l 精度:±(0.8%讀數+0.2%滿量程)
l 可選±(0.4%讀數+0.2%滿量程)
l 認證:ATEX、CSA,Class 1Division 2
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