TFT-LCD無塵車間設計裝修工程案例分享 TFT-LCD主要的三段制程：

首先是前段Array

前段部分的Array制程和半導體制程相似，但是不同的是將薄膜電晶體制作在玻璃之上，而不是矽晶圓上面。

然后是中段Cell

中段部分的Cell，是以前段的Array玻璃作為基板，和彩色的濾光片玻璃基板相結合，并且在兩片玻璃基板之間灌入液晶(LC)。

是后段Module Assembly (模組組裝)

后段模組的組裝制程則是將Cell制程之后的玻璃和其他的如電路、外框、背光板等等多種零組件組裝生產(chǎn)的作業(yè)。

TFT-LCD：三明治一樣的構造

液晶顯示屏的構造就如同三明治一樣，將液晶夾雜在兩片玻璃基板之間，這兩片玻璃基板呢，就是TFT Array玻璃和彩色的濾光片。在TFT Array玻璃的上面有著無數(shù)的畫素(pixel)排列著，而彩色的濾光片則是畫面顏色的重要來源，液晶呢便夾雜在TFT Array以及彩色的濾光片之間。當電壓在TFT(晶體管)的時候，液晶轉向，那么光線便穿過了液晶在面板上面產(chǎn)生了一個畫素，而此光源呢，則是由背光模塊所負責提供的。此時，彩色的濾光片給予了每一個畫素特定的一個顏色。結合了每一個不同顏色的畫素所呈現(xiàn)出的，就是面板前端的影像了。

GB50472-2008《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》

GB51136-2015《薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計規(guī)范》

TFT無塵車間

薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）

TFT-LCD工廠設計應滿足生產(chǎn)所需要超大空間潔凈環(huán)境的要求。

TFT-LCD工廠一般由陣列、成盒、彩膜、模組等生產(chǎn)廠房、動力廠房、化學品庫、化學品配送車間、辦公樓等建筑組成。生產(chǎn)廠房、辦公樓、動力廠房之間的人流宜采用連廊進行聯(lián)系。

一、采暖、通風、空氣凈化

A潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設備和輔助設備，均應設局部排風裝置，排

風罩宜為密閉式。

B排風系統(tǒng)的設計，應符合下列要求：

1pecvd和干法刻蝕設備的尾氣應設就地處理裝置；

2酸、堿、有毒和有機廢氣應分開設置排風系統(tǒng)，并應設置備用風機和應急電源；

3陣列、彩膜、成盒廠房一般排風系統(tǒng)應設置備用風機；

4有冷凝液產(chǎn)生的工藝設備局部排風管宜設置坡度和排液口，且風管系統(tǒng)應采取

防液體滲漏措施；

5有毒排風系統(tǒng)的風管應采用內(nèi)涂聚四氟乙烯的不銹鋼板制作；

6有毒和有機排風及應采取防火、防爆措施；

7酸、堿、有毒和有機排風系統(tǒng)不宜設置防火閥，且不得設置熔片式防火閥；

8酸、堿、有毒排風系統(tǒng)的風機應設在廢氣處理設備的下風側，有機排風系統(tǒng)如

采用吸附方式處理廢氣，風機宜設在廢氣處理設備的上風側；

9有毒排風系統(tǒng)的風管應在適當位置設置透明觀察口，其管內(nèi)風速不應小于10m/s；

10工藝設備局部排風系統(tǒng)的室外風管應根據(jù)當?shù)貧庀髼l件設置防結露保溫措施；

11布置在陣列、彩膜、成盒廠房核心生產(chǎn)區(qū)內(nèi)的排風管道，其管內(nèi)風速不應大于12m/s；

12潔凈室的排風系統(tǒng)應設置防止室外氣流倒灌的措施。

二、空氣調(diào)節(jié)與凈化A、凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風應集中進行熱、濕、凈化處理，新風處理機組的設置

應符合下列規(guī)定：

1送風機應采取變頻措施；

2空氣應經(jīng)過粗效、中效、過濾器三級處理；

3陣列、彩膜、成盒廠房應設置備用新風處理機組；

4陣列、彩膜、成盒廠房的電機與風機應采用直聯(lián)驅動方式，且有良好的減振措施；

5新風的吸入口位置，應遠離排放有害物或可燃物的排氣口；

6加濕方式宜采用溫水淋水室；

7應有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風率不得大于1%。

B、陣列、彩膜、成盒廠房的潔凈室宜采用“新風處理機組+風機過濾器機組+干冷卻

盤管”的凈化空調(diào)系統(tǒng)；模塊和背光源廠房的潔凈室宜采用集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)。

C 陣列、彩膜、成盒廠房的潔凈室寬度超過80m時，宜在寬度方向布置不同阻力的

回風高架地板。

D 風機過濾器機組的設置應符合下列規(guī)定：

1應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用；

2宜采用直流調(diào)速電機；

3機組應采取消音措施，消音裝置不得采用產(chǎn)塵材料；

4潔凈度等級為7～９級的潔凈室（區(qū)）不宜采用聚四氟乙烯濾料的過濾器；

5應便于安裝、維修及過濾器更換。

E 空調(diào)冷、熱源和水系統(tǒng)的設置應符合下列規(guī)定：

1空調(diào)冷媒應采用低溫和中溫冷凍水系統(tǒng)；除新風處理機組的二級冷卻盤管使用

低溫冷凍水外，其余冷卻盤管宜使用中溫冷凍水；

2干冷卻盤管的中溫冷凍水系統(tǒng)宜采用同程式，供水干管的末端應與回水干管間

設置旁通管；

3布置在吊頂內(nèi)的干冷卻盤管的中溫冷凍水系統(tǒng)管道和布置在下技術夾層及回

風夾道內(nèi)的干冷卻盤管的中溫冷凍水系統(tǒng)供水干管應保溫；

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